【時報記者張漢綺台北報導】「我們一直專注於高階、高成本材料分析,只要高階先進製程半導體廠要做研發,我們生意就接不完,希望汎銓能成為半導體產業高階產品研發分析中心」汎銓(6830)董事長柳紀綸表示。

對多數的投資人來說,半導體相關材料分析(MA)、故障分析(FA)、可靠度(RA)是相當陌生的產業,但這些卻是攸關半導體產業從IC設計、晶圓製造到封測廠能否研發生產一個好的IC晶片關鍵,團隊來自於半導體大廠製程整合及實驗室的汎銓,挾專精在晶圓廠、深入客戶端產品及製程整合利基,鎖定最有未來的「材料分析」,讓汎銓創業初期就拿下”護國神山”這個頂尖客戶,近兩年大膽投資先進製程設備,更讓汎銓在矽光子及最新AI晶片分析搶得先機,甚至是埃米世代,汎銓亦早在3年前就已邁出領先步伐,今年2月在美國舉行的國際光電論壇,全球微影設備艾司摩爾(ASML)首次針對高數值孔徑(High NA)展示,即引用由汎銓所做的High NA EUV光阻劑的材料分析結果,印證進入埃米製程後,汎銓已取得技術領先優勢。

柳紀綸表示,大客戶首套High NA設備已預定下個月抵台,其中艾司摩爾秀出的High NA光阻液分析,即是由汎銓利用低溫原子層鍍膜技術(LT-ALD)所做的材料分析;我們的策略就是選擇最先進高階的那一塊市場,在「材料分析」,我們可以很有底氣地說,一定會繼續領先;以下是專訪

問:材料分析( MA)、故障分析(FA)、可靠度(RA)技術差異?汎銓選擇材料分析為公司重心的原因?

答:半導體產業發展,晶圓製造、IC設計到封測是生產的主軸,其中材料分析部分,半導體產業持續追求PPAC的提昇,新的製程相對於前一代的製程,在效能、功耗、面積、成本要有一定的優勢,這樣才能算是有效的新的製程節點,而要達到這些好處,要採用新的設備、新的材料跟新的製程參數來達成。例如:28奈米以前使用傳統平面MOSFET,到16奈米之後採用FINFET,未來2奈米採用GAA結構,除了尺寸縮小、堆疊結構不同以外,這些電晶體用的材料,以及他們彼此之間互連的線路,也逐漸採用更新的導體與絕緣層材料。在每一個世代節點的製程開發時,需要分析這些不同的新材料,以及越來越小的複雜結構,對材料分析公司來說,就需要持續開發新的技術,是新的挑戰,同時也是新的成長機會。

材料分析的客戶,除了先進製程的FAB、設備商、材料商,屬於每天一直來的主力客戶,佔最大的分析量,其他的成熟邏輯製程、記憶體、化合物半導體行業等..相關廠商在開發新的製程時也都需要,只是量沒那麼大。

在故障分析(FA)跟可靠度(RA)方面,客戶源以IC設計公司為主,IC設計公司或系統商,它們的IC有問題,因為已經是成品IC,一旦要開新IC的時候要做可靠度去認證它的規格耐用性多少,包括各種耐用性,封裝、防潮、防濕、耐撞都要做,失敗的東西則要做故障分析,而研發出來失敗、賣出去失敗、可靠度失敗都要分析這就是FA。

相較於FA與RA,材料分析的技術門檻較高,毛利率也是MA>FA>RA,材料分析案件 一般都是超過萬元,故障分析不一定,故障分析幾千元到10幾萬元都有的,舉例來說,蓋子打開發現線斷掉了,少於1000塊,打開發現好好的,那就要進去量它的電性,看它是死在哪、通電一小時大於1000塊,那再找到其他線路、更深入的解決要花人力討論那這一筆就10幾萬。可靠度的話,一小時幾百塊而已,但是它要做1000小時以上,一單案子可能幾十萬長天期的,不是一天24小時這樣計算,它每一段時間就要拿出來測試,測試完再回去,一般來說可靠度會用標案方式接單,它開出條件、規格(板子多少錢、測1000小時要花多少爐子、多少顆,就給它一個價錢)大家去標,拿到訂單就開始畫圖做板子(可能1個月)→如果IC來再測168小時,IC再去測試廠做晶圓電的測試,失敗了就再重新規劃,成功就再抽樣256小時、512小時,每一次都做再做大概1000小時測試。 由於MA技術門檻高,且擁有較高的毛利率,這是汎銓持續以材料分析為發展主軸的原因。(4-1)

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