半導體設備廠蔚華科(3055)2023年推出新產品JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,由於切入市場痛點,目前和多家國內外矽晶圓廠客戶接觸中,部分客戶進入已最後階段,第一季有望取單,上半年可望開始出貨,2024年新產品出貨展望樂觀,公司力拚2024年全年營運轉虧為盈。

蔚華科攜手旗下南方科技2023年底推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,取代現行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產量並有助於改善製程,由於切中市場痛點,市場下游客戶多表達高度興趣,據了解,國內生產碳化矽(SiC)基板廠商,包括矽晶圓廠環球晶、中美晶、穩懋、漢民、盛新等均是蔚華科的潛在客戶,此外,目前也與中國和歐美多家客戶積極接觸中。

對於接單情況,蔚華科表示,關於接觸客戶相關資訊不便透露,但目前確實和客戶進行最後的洽談,有機會在第一季底前取得訂單,由於先前公司也開始預備生產初期所需機台,因此,最快2024年上半年可以出貨,但預計未來新接單將需四至六個月的生產時間才能出貨。

電動車推動全球SiC晶片需求迅速爆發,尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件,供給量遠遠不及需求。化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣,但SiC長晶速度較慢,且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測,使得SiC晶片製程成本居高不下,目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程,加速產業布局以搶攻市占率。

蔚華科表示,目前市場上光學技術只能檢測表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統採先進的非線性光學技術,可對全片基板表面到特定深度進行掃描,反應晶體結構資訊,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,更能有效掌握基板品質,未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

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