微影設備大廠艾司摩爾(ASML)19日召開法人說明會,預期2022年EUV曝光機55台出貨目標可望達成。在台積電、英特爾、三星等半導體大廠積極建置EUV產能情況下,法人看好家登、帆宣、公準、意德士等EUV概念股2022年營運看旺。

台積電公布2022年資本支出高達400~440億美元,積極擴建5奈米及4奈米、3奈米等先進製程產能,打造全球最大EUV產能,而業界預期三星電子及英特爾月底前召開法人說明會中,亦會大幅提高資本支出建置先進製程EUV產能以因應客戶強勁需求。ASML的EUV曝光機產能已被預訂一空,打進EUV設備及耗材零組件供應鏈的家登、帆宣、公準、意德士將直接受惠。

ASML公告2021年合併營收達186億歐元,其中包括認列42台EUV曝光機營收約63億歐元,年度稅後淨利58.83億歐元,每股淨利14.36歐元,表現優於預期。同時,ASML公告2021年在手訂單規模達262億歐元,較2020年成長逾1.3倍,主要受惠於0.33數值孔徑及0.55高數值孔徑(High-NA)的EUV曝光機接單超乎預期。

ASML執行長Peter Wennink指出,半導體產能供不應求,客戶端希望能加快擴產速度,ASML提高曝光機設備生產力,將設備最終測試及認證延轉到客戶端進行,藉此縮短生產前置時間(lead time)並拉高出貨動能。至於日前德國柏林廠火災,對2022年EUV機台生產力不會造成顯著影響。由於邏輯IC及DRAM先進製程大量導入EUV技術提高產能,ASML預期2022年EUV設備出貨量可以提高至55台,年度營收可較2021年成長20%。

法人表示,隨著邏輯先進製程進入3奈米,DRAM先進製程跨入14奈米,EUV設備已成為擴產關鍵,EUV產能在2022~2023年逐步開出,可望帶動EUV Pod及晶圓傳送盒龐大出貨量,對家登將帶來明顯營收貢獻。

至於ASML擴大EUV曝光機產能,承接EUV雷射穩壓等模組代工的帆宣、精密零組件供應商公準、EUV機台晶圓真空吸盤供應商意德士等訂單能見度已看到年底。

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